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退火炉
时间:2020-10-20 14:22点击量:

退火炉定义:退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺设备,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理行业中是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉属于热处理工艺中的一种也叫退火炉设备,有多种型号的产品:井式退火炉,台车退火炉,连续退火炉,光亮退火炉,罩式退火炉,箱式退火炉等等。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门。随着社会生产力的发展,其在各行业中的应用越来越广泛。

退火炉

退火炉优势特点

1.退火炉连续性强大,无噪音,无污染,无有害释放气体,是比较安全使用的退火炉工艺。

2.使用的退火材料使用的使用寿命强大,能够拥有质量强大的耐火特点

3.使用安全,人工操作不需要特殊的培训,开关即可操作,自动化程度高。

4.占地面积小,使用率高,连续工作时间长。

5.蓄热能力强,散热温度少,是节能环保的首选设备。

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